無塵無菌室等級與種類
無塵室基本的注意事項列舉
Example of several basic things to be mindful of:
- 無塵室裡不可有塵埃、微粒子
There can be no dust or particles in the Clean Room - 無塵室內的粉塵、微粒子必須收集清除
Dust and particles in the Clean Room must be collected and eliminated - 盡可能防止室內微粒子的發生
Eliminate all causes of small particles as much as possible - 室內易堆積粒子的死角部分應盡可能減少
Reduce the number of blind spots where particles may accumulate inside the clean room as much as possible
無塵室的水準以清淨度表示之，工業用無塵室(ICR)是以美國聯邦規格 2096為規範，無菌室則適用美國太空總署規格要旨。
The standard of Clean Rooms is defined by cleanliness. In general, industrial Clean Room (ICR) is classified using the US Federal Standard No.209b, where germ-free rooms use the guidelines set out by NASA.
| (表1) 美國聯邦規格要旨 (209b) | |||||||
| 無塵室級別 | 微粒子 | 壓力 | 溫度 | 濕度 | 氣流 | 照度 | |
| 粒徑(μm) | 累積粒子數(個/ft³) | (mmAq) | (℃) | (%) | 換氣回數 | (LX) | |
| 100 | 0.5以上 | 100 | 13以上 | 範圍: 19.4 | 最高: 45 | 層流方式: 0.45m/s ±0.1m/s |
1,080 ∣ 1,620 |
| 1,000 | 0.5以上 5以上 |
1,000 10 |
設定值: 22.2 | 最低: 30 | |||
| 10,000 | 0.5以上 5以上 |
10,000 65 |
誤差: ±2.8 | 誤差: ±10 | 亂流方式: ≧20回/小時 |
||
| 100,000 | 0.5以上 5以上 |
100,000 700 |
特殊要求時: ±0.25 | 特殊要求時: ±5 | |||
| (表2) 美國聯邦規格要旨 (NHB5340.2) | |||||||||
| 無塵室 級別 | 微粒子 (CR) | 生物粒子(BCR) | 壓力 | 溫度 | 濕度 | 氣流 | 照度 | ||
| 粒徑(μm) | 累積粒子數(個/ft³) | 浮游量(個/ft³) | 浮降量(個/ft³) | (mmAq) | (℃) | (%) | (換氣回數) | (LX) | |
| 100 | 0.5以上 | 100 | 0.1 | 1,200 | 1.3以上 | 指定值 | 45 ∣ 50 |
層流方式: 亂流方式: |
1,080 ∣ 1,620 |
| 10,000 | 0.5以上 5以上 |
10,000 65 |
0.5 | 6,000 | |||||
| 100,000 | 0.5以上 5以上 |
100,000 700 |
2.5 | 30,000 | |||||